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1. Identificação
Tipo de ReferênciaArtigo em Evento (Conference Proceedings)
Sitemtc-m16d.sid.inpe.br
Código do Detentorisadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S
Identificador8JMKD3MGPDW34R/3TTAQFL
Repositóriosid.inpe.br/mtc-m16d/2019/08.26.16.51
Última Atualização2019:08.26.16.51.42 (UTC) simone
Repositório de Metadadossid.inpe.br/mtc-m16d/2019/08.26.16.51.43
Última Atualização dos Metadados2020:01.06.12.48.40 (UTC) administrator
ISSN2177-3114
Chave de CitaçãoSierraGomezSilvCoraTrav:2019:EsCrDi
TítuloEstudo de crescimento de diamante CVD policristalino visando otimizar a área de deposição para o diamante monocristalino
FormatoOn-line
Ano2019
Data de Acesso19 maio 2024
Tipo SecundárioPRE CN
Número de Arquivos1
Tamanho559 KiB
2. Contextualização
Autor1 Sierra Gomez, Javier
2 Silva Neto, José Vieira da
3 Corat, Evaldo José
4 Trava-Airoldi, Vladimir Jesus
Identificador de Curriculo1
2
3 8JMKD3MGP5W/3C9JH33
Grupo1 CMS-ETES-SESPG-INPE-MCTIC-GOV-BR
2 CMS-ETES-SESPG-INPE-MCTIC-GOV-BR
3 LABAS-COCTE-INPE-MCTIC-GOV-BR
4 LABAS-COCTE-INPE-MCTIC-GOV-BR
Afiliação1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
4 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
Endereço de e-Mail do Autor1 javier.sierra@inpe.br
2 jose.v.silva@inpe.br
3 evaldo.corat@inpe.br
4 vladimir.airoldi@inpe.br
Nome do EventoWorkshop em Engenharia e Tecnologia Espaciais, 10 (WETE)
Localização do EventoSão José dos Campos
Data07-09 ago. 2019
Editora (Publisher)Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
Cidade da EditoraSão José dos Campos
Título do LivroAnais
OrganizaçãoInstituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
Histórico (UTC)2019-08-26 16:51:43 :: simone -> administrator ::
2019-10-01 19:38:40 :: administrator -> simone :: 2019
2019-10-02 11:00:52 :: simone -> administrator :: 2019
2019-10-04 12:52:56 :: administrator -> simone :: 2019
2019-12-06 20:22:34 :: simone -> administrator :: 2019
2020-01-06 12:48:40 :: administrator -> simone :: 2019
3. Conteúdo e estrutura
É a matriz ou uma cópia?é a matriz
Estágio do Conteúdoconcluido
Transferível1
Palavras-ChavePlasma
MWPACVD
Diamante Monocristalino
Filmes Finos e Espessos
ResumoO propósito deste trabalho foi estudar parâmetros críticos para crescimento de diamante de grau monocristalino para aplicações espaciais, nas áreas da microeletrônica e óptica. Neste trabalho, foram estudadas condições de crescimento de filmes de diamante policristalino através do método de deposição química da fase vapor ativada por plasma de microondas (MWPACVD). Como resultado, a morfologia dos filmes não apresentou alterações significativas para porta-substratos diferentes, entretanto, condições de potência de micro-ondas (2,4 kW) e pressões mais baixas (100 Torr) levaram a uma redução na intensidade e alargamento do pico característico e aumento na luminescência observada por espectroscopia Raman. Resultados prévios mostram que para a deposição de diamante policristalino se permitiram obter filmes de boa qualidade com ótimas taxas de crescimento de até 16 μ/h. Os filmes foram avaliados por Microscopia eletrônica de varredura e espectroscopia de espalhamento Raman para análise de topografia, taxa de crescimento e qualidade do filme.
ÁreaFISMAT
TipoCMS
Arranjo 1urlib.net > BDMCI > Fonds > WETEs > 10º WETE > Estudo de crescimento...
Arranjo 2urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > CGETE > 10º WETE > Estudo de crescimento...
Arranjo 3urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Estudo de crescimento...
Arranjo 4urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção pgr ATUAIS > CMS > Estudo de crescimento...
Conteúdo da Pasta docacessar
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4. Condições de acesso e uso
URL dos dadoshttp://urlib.net/ibi/8JMKD3MGPDW34R/3TTAQFL
URL dos dados zipadoshttp://urlib.net/zip/8JMKD3MGPDW34R/3TTAQFL
Idiomapt
Arquivo Alvo35 -[Artigo] Javier Sierra Gomez.pdf
Grupo de Usuáriossimone
Grupo de Leitoresadministrator
simone
Visibilidadeshown
Licença de Direitos Autoraisurlib.net/www/2012/11.12.15.19
Detentor dos Direitosoriginalauthor yes
Permissão de Atualizaçãonão transferida
5. Fontes relacionadas
Unidades Imediatamente Superiores8JMKD3MGP3W34P/3TTJPUE
8JMKD3MGPCW/3ESR3H2
8JMKD3MGPCW/3F358GL
Lista de Itens Citandosid.inpe.br/mtc-m21b/2019/08.28.12.29 1
Acervo Hospedeirosid.inpe.br/mtc-m19@80/2009/08.21.17.02
6. Notas
Campos Vaziosarchivingpolicy archivist callnumber contenttype copyholder creatorhistory descriptionlevel dissemination doi e-mailaddress edition editor isbn label lineage mark mirrorrepository nextedition notes numberofvolumes orcid pages parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readpermission schedulinginformation secondarydate secondarykey secondarymark serieseditor session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype url versiontype volume
7. Controle da descrição
e-Mail (login)simone
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