1. Identificação | |
Tipo de Referência | Artigo em Evento (Conference Proceedings) |
Site | mtc-m16d.sid.inpe.br |
Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
Identificador | 8JMKD3MGPDW34R/3TTAQFL |
Repositório | sid.inpe.br/mtc-m16d/2019/08.26.16.51 |
Última Atualização | 2019:08.26.16.51.42 (UTC) simone |
Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m16d/2019/08.26.16.51.43 |
Última Atualização dos Metadados | 2020:01.06.12.48.40 (UTC) administrator |
ISSN | 2177-3114 |
Chave de Citação | SierraGomezSilvCoraTrav:2019:EsCrDi |
Título | Estudo de crescimento de diamante CVD policristalino visando otimizar a área de deposição para o diamante monocristalino |
Formato | On-line |
Ano | 2019 |
Data de Acesso | 19 maio 2024 |
Tipo Secundário | PRE CN |
Número de Arquivos | 1 |
Tamanho | 559 KiB |
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2. Contextualização | |
Autor | 1 Sierra Gomez, Javier 2 Silva Neto, José Vieira da 3 Corat, Evaldo José 4 Trava-Airoldi, Vladimir Jesus |
Identificador de Curriculo | 1 2 3 8JMKD3MGP5W/3C9JH33 |
Grupo | 1 CMS-ETES-SESPG-INPE-MCTIC-GOV-BR 2 CMS-ETES-SESPG-INPE-MCTIC-GOV-BR 3 LABAS-COCTE-INPE-MCTIC-GOV-BR 4 LABAS-COCTE-INPE-MCTIC-GOV-BR |
Afiliação | 1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 4 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
Endereço de e-Mail do Autor | 1 javier.sierra@inpe.br 2 jose.v.silva@inpe.br 3 evaldo.corat@inpe.br 4 vladimir.airoldi@inpe.br |
Nome do Evento | Workshop em Engenharia e Tecnologia Espaciais, 10 (WETE) |
Localização do Evento | São José dos Campos |
Data | 07-09 ago. 2019 |
Editora (Publisher) | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
Cidade da Editora | São José dos Campos |
Título do Livro | Anais |
Organização | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
Histórico (UTC) | 2019-08-26 16:51:43 :: simone -> administrator :: 2019-10-01 19:38:40 :: administrator -> simone :: 2019 2019-10-02 11:00:52 :: simone -> administrator :: 2019 2019-10-04 12:52:56 :: administrator -> simone :: 2019 2019-12-06 20:22:34 :: simone -> administrator :: 2019 2020-01-06 12:48:40 :: administrator -> simone :: 2019 |
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3. Conteúdo e estrutura | |
É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
Estágio do Conteúdo | concluido |
Transferível | 1 |
Palavras-Chave | Plasma MWPACVD Diamante Monocristalino Filmes Finos e Espessos |
Resumo | O propósito deste trabalho foi estudar parâmetros críticos para crescimento de diamante de grau monocristalino para aplicações espaciais, nas áreas da microeletrônica e óptica. Neste trabalho, foram estudadas condições de crescimento de filmes de diamante policristalino através do método de deposição química da fase vapor ativada por plasma de microondas (MWPACVD). Como resultado, a morfologia dos filmes não apresentou alterações significativas para porta-substratos diferentes, entretanto, condições de potência de micro-ondas (2,4 kW) e pressões mais baixas (100 Torr) levaram a uma redução na intensidade e alargamento do pico característico e aumento na luminescência observada por espectroscopia Raman. Resultados prévios mostram que para a deposição de diamante policristalino se permitiram obter filmes de boa qualidade com ótimas taxas de crescimento de até 16 μ/h. Os filmes foram avaliados por Microscopia eletrônica de varredura e espectroscopia de espalhamento Raman para análise de topografia, taxa de crescimento e qualidade do filme. |
Área | FISMAT |
Tipo | CMS |
Arranjo 1 | urlib.net > BDMCI > Fonds > WETEs > 10º WETE > Estudo de crescimento... |
Arranjo 2 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > CGETE > 10º WETE > Estudo de crescimento... |
Arranjo 3 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Estudo de crescimento... |
Arranjo 4 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção pgr ATUAIS > CMS > Estudo de crescimento... |
Conteúdo da Pasta doc | acessar |
Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
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4. Condições de acesso e uso | |
URL dos dados | http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGPDW34R/3TTAQFL |
URL dos dados zipados | http://urlib.net/zip/8JMKD3MGPDW34R/3TTAQFL |
Idioma | pt |
Arquivo Alvo | 35 -[Artigo] Javier Sierra Gomez.pdf |
Grupo de Usuários | simone |
Grupo de Leitores | administrator simone |
Visibilidade | shown |
Licença de Direitos Autorais | urlib.net/www/2012/11.12.15.19 |
Detentor dos Direitos | originalauthor yes |
Permissão de Atualização | não transferida |
|
5. Fontes relacionadas | |
Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGP3W34P/3TTJPUE 8JMKD3MGPCW/3ESR3H2 8JMKD3MGPCW/3F358GL |
Lista de Itens Citando | sid.inpe.br/mtc-m21b/2019/08.28.12.29 1 |
Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/mtc-m19@80/2009/08.21.17.02 |
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6. Notas | |
Campos Vazios | archivingpolicy archivist callnumber contenttype copyholder creatorhistory descriptionlevel dissemination doi e-mailaddress edition editor isbn label lineage mark mirrorrepository nextedition notes numberofvolumes orcid pages parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readpermission schedulinginformation secondarydate secondarykey secondarymark serieseditor session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype url versiontype volume |
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7. Controle da descrição | |
e-Mail (login) | simone |
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